半导体制造业可以说是现代电子工业的核心产业，广泛应用于计算机、通信、汽车、医疗等领域。而在半导体生产加工过程中，如刻蚀、 镀膜、 扩散、沉积、退火等环节，真空泵都是必不可少的关键设备，它可以构建稳定受控的真空环境，以避免产品出现污染、氧化或者其他缺陷，对于半导体产品的品质、寿命以及性能都有着不可忽视的影响。
为保证真空泵系统安全稳定运行，物通博联提供基于工业智能网关的数据采集远程监控系统，实现真空泵运行状态及工艺参数的在线监控与预警，从而帮助工厂及时采取措施，保证生产安全与产品质量。
数据采集困难：真空泵通常分布在生产现场或远程地点，传统的手动采集数据方式需要人工去现场抄写数据，工作量大，因此需要数据采集实现远程监控。
故障发现慢：真空泵运行出现故障无法及时感知，一旦出现故障就会影响生产的稳定性和安全性，同时造成物料浪费，因此需要故障预警报警机制。
数据应用难题：真空泵产生的数据包括压强、温度、振动等多种参数，需要进行实时处理和分析，需要数据报表及展示分析渠道，实现提质增效、节能优化等。
半导体工业正在逐步实现自动化生产，真空泵系统通过PLC自动化控制已经得到广泛应用，因此只需要将物通博联工业智能网关接入到PLC，就能实时采集PLC内真空泵的工作参数（压强、温度、振动等）并通过5G/4G/WIFI/以太网等方式上传到云平台或本地上位机，进而实现设备远程监控、故障报警、远程控制及远程维护等功能。
通过手机端和电脑端，工厂可以远程查看工艺组态画面，了解每台真空泵的运行状态、工艺参数、故障信息、运维记录等，从而实现及时管理控制，维护安全稳定的生产秩序。
拓扑图
通过物通博联网关可以实时采集真空泵的运行状态数据，如压强、温度、振动等，并将这些数据上传平台生成可视化图表，方便快速查询实时数据和历史数据。
系统可以自定义云组态，通过监控真空泵系统工艺流程，在线查看每台真空泵工作状态和参数变化，支持自定义编辑，通过拖拉拽添加/删除控件，操作简单易懂。
通过手机或电脑等智能终端，让用户可以随时随地查看真空泵的实时运行状态和历史数据，和远程控制设备启停，调节设备参数，提高了设备的管理效率和生产效益。
故障报警
通过设置报警阈值，当真空泵出现异常情况时，系统会自动报警并记录异常信息，自动通过微信、短信、邮箱等方式通知管理运维人员，便于用户快速发现并解决问题，减少生产损失与物料浪费。
通过物通博联设备维护快线，工程师可以对异地PLC进行远程编程调试和远程上下载程序等操作，减少出差和花销，提高工作效率和售后服务质量。
根据采集到的数据进行分析和处理，可以了解设备性能、能耗水平，也能预测可能出现的问题，采取措施进行管理优化，提高生产效率。
物通博联真空泵系统数据采集远程监控解决方案，通过对真空泵系统的实时监控和故障报警，实现对半导体芯片生成过程的真空环境进行精细控制，保证过程中的参数稳定正常，能够保证企业提高设备效率和可靠性，减少停工和维护时间，为企业带来更多的经济效益。
智能工厂是在数字化工厂的基础上，以实现生产过程和经营业务最优化为目的，利用物联网技术和监控技术加强信息管理服务，提高生产过程可控性、减少生产线人工干预，合理计划排程，实现信息统一，集团化统一监控，实现产品生命周期和备品备件管理，提升制造工厂的智能化程度，降低运行维护成本，促进企业产业升级。了解更多>设备互通互联设备数据采集设备数据标准化设备远程运营维护产线数据可视化产线数据分析
